製品名:AlN単結晶
荒さ:Al面:≦0.5nm N面(裏面):≦1.2μm
出現:円形ベルト位置決めエッジ
出現:円形ベルト位置決めエッジ
製品名:窒化アルミニウムのウエファー
直径(mm):25.4±0.5
TUA:≥90%
Polytype:{0001}±0.5°
製品名:窒化アルミニウムのウエファー
次元:φ50.8mm±0.1mm、の(1-100)、端16.0± 1.0mmを見つけるAlの表面
基質:サファイア(磨かれるシングルまたはダブルの側面)
伝導のタイプ:Semi-Insulating
次元:φ50.8mm±0.1mm、の(1-100)、端16.0± 1.0mmを見つけるAlの表面
基質:サファイア(磨かれるシングルまたはダブルの側面)
伝導のタイプ:Semi-Insulating
次元:φ50.8mm±0.1mm、の(1-100)、端16.0± 1.0mmを見つけるAlの表面
基質:サファイア(磨かれるシングルまたはダブルの側面)
伝導のタイプ:Semi-Insulating
製品名:窒化アルミニウムのウエファー
次元:φ50.8mm±0.1mm、の(1-100)、端16.0± 1.0mmを見つけるAlの表面
基質:サファイア(磨かれるシングルまたはダブルの側面)
製品名:窒化アルミニウムのウエファー
次元:φ50.8mm±0.1mm、の(1-100)、端16.0± 1.0mmを見つけるAlの表面
基質:サファイア(磨かれるシングルまたはダブルの側面)
厚さ:[1,2)μm、[2,3)μm、[3,4)μm、[4,5)μm
オリエンテーション:C面(0001)±1°
伝導のタイプ:Semi-Insulating
次元:φ50.8mm±0.1mm、の(1-100)、端16.0± 1.0mmを見つけるAlの表面
基質:サファイア(磨かれるシングルまたはダブルの側面)
オリエンテーション:C面(0001)±1°
製品名:窒化アルミニウムのウエファー
直径:25.4±0.5mm
厚さ:400±50μm
基質:サファイア(磨かれるシングルまたはダブルの側面)
製品名:窒化アルミニウムのウエファー
厚さ:[1,2)μm、[2,3)μm、[3,4)μm、[4,5)μm