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商品の詳細:
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| 製品名: | Sicのエピタキシアル ウエファー | 結晶形: | 4h |
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| 直径: | 150.0mm+0.0/-0.2mm | 表面のオリエンテーション: | {0001}±0.2° |
| ノッチのオリエンテーション: | <1-100>±1° | ノッチの角度: | 90° +5°/-1° |
| ハイライト: | N型炭化ケイ素基板、6inch SiC基板、D級炭化ケイ素基板47.5mm,6inch SiC Substrate,D Grade silicon carbide substrate 47.5 mm |
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6 インチ 4H-SiC 基板 N タイプ D グレード 350.0±25.0μm MPD≤5/cm2 抵抗率 0.014Ω•cm—0.028Ω•cm 電力およびマイクロ波デバイス用
概要
炭化ケイ素 (SiC) は、共有ネットワークの固体です。その構造を見ると、シリコンの原子が共有結合の助けを借りて四面体状に炭素原子と結合していることがわかります。
柔軟な仕様の完全な SiC 材料ソリューションを提供します。
バッファーの有無にかかわらず厚いエピ層
多層構造 pn 接合を含むさまざまなドーピング レベル
インプロセス エピタキシー 埋め込みおよび埋め込み構造、コンタクト層
| 財産 | P-MOSグレード | P-SBDグレード | Dグレード |
| クリスタルフォーム | 4H | ||
| ポリタイプ | なし | Area≤5% | |
| (MPD)a | ≤0.2/cm2 | ≤0.5/cm2 | ≤5/cm2 |
| 六角プレート | なし | Area≤5% | |
| 六方晶多結晶 | なし | ||
| インクルージョンa | Area≤0.05% | Area≤0.05% | なし |
| 抵抗率 | 0.015Ω・cm～0.025Ω・cm | 0.015Ω・cm～0.025Ω・cm | 0.014Ω・cm～0.028Ω・cm |
| (EPD)a | ≤4000/cm2 | ≤8000/cm2 | なし |
| (TED)a | ≤3000/cm2 | ≤6000/cm2 | なし |
| (BPD)a | ≤1000/cm2 | ≤2000/cm2 | なし |
| (TSD)a | ≤600/cm2 | ≤1000/cm2 | なし |
| 積層欠陥 | ≤0.5% エリア | ≤1% エリア | なし |
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表面金属汚染 |
(Al、Cr、Fe、Ni、Cu、Zn、Pb、Na、K、Ti、Ca、V、Mn) ≤1E11 cm-2 |
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| 直径 | 150.0mm +0mm/-0.2mm | ||
| 表面の向き | 軸外:<11-20>に向かって4°±0.5° | ||
| 一次平面長 | 47.5mm±1.5mm | ||
| 二次平面長 | 二次フラットなし | ||
| プライマリ フラット方向 | <11-20>±1°に平行 | ||
| セカンダリ フラット方向 | なし | ||
| 直交ミスオリエンテーション | ±5.0° | ||
| 表面仕上げ | C面：光学研磨、Si面：CMP | ||
| ウェーハエッジ | 面取り | ||
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表面粗さ (10μm×10μm) |
Si 面 Ra≤0.20 nm ； C 面 Ra≤0.50 nm | ||
| 厚さa | 350.0μm±25.0μm | ||
| LTV(10mm×10mm)a | ≦2μm | ≦3μm | |
| (TTV)a | ≦6μm | ≦10μm | |
| （弓）a | ≤15μm | ≤25μm | ≤40μm |
| （ワープ）a | ≤25μm | ≤40μm | ≤60μm |
| チップ/インデント | なし 許可 ≥0.5mm 幅と深さ | 数量 2 ≤1.0 mm 幅と奥行き | |
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傷a (Siフェイス、CS8520) |
≤5かつ累積長さ≤0.5×ウェーハ直径 |
≤5かつ累積長さ≤1.5×ウェーハ 直径 |
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| トゥア(2mm×2mm) | ≥98% | ≥95% | なし |
| クラック | なし | ||
| 汚染 | なし | ||
| 財産 | P-MOSグレード | P-SBDグレード | Dグレード |
| エッジ除外 | 3mm | ||
備考： の付いた項目は、3mm のエッジ除外が使用されます。a.
私たちに関しては
私たちは、さまざまな材料をウェーハ、基板、およびカスタマイズされた光学ガラス部品に加工することを専門としています。これらの部品は、エレクトロニクス、光学、オプトエレクトロニクス、および他の多くの分野で広く使用されています。また、国内外の多くの大学、研究機関、企業と緊密に連携し、研究開発プロジェクト向けにカスタマイズされた製品とサービスを提供しています。私たちの良い評判によって、すべてのお客様と協力関係を維持することが私たちのビジョンです。
よくある質問
Q: あなたは商社ですか、それともメーカーですか?
私たちは工場です。
Q：納期はどのくらいですか？
通常、在庫がある場合は3～5日です。
または、商品が在庫にない場合は、数量に応じて7〜10日です。
Q: サンプルを提供していますか?それは無料ですか、それとも余分ですか？
はい、無料でサンプルを提供できますが、運賃はかかりません。
Q: 支払条件は何ですか?
お支払い <=5000USD、100% 前払い。
Paymen >=5000USD、前もって 80% T/T、shippment の前のバランス。
コンタクトパーソン: Xiwen Bai (Ciel)
電話番号: +8613372109561
