表面のオリエンテーション:平面(11-20)
材料:高い純度のAlの₂ Oの₃のμm (>99.995%)
厚さ:430 ±10μm
材料:高い純度Al2O3 (>99.995%)
表面のオリエンテーション:C平面(0001)
R平面:R9
材料:高い純度Al2O3 (>99.995%)
表面のオリエンテーション:C平面(0001)
厚さ:625 ±15μm
材料:高い純度Al2O3
直径:100.0±0.2mm
厚さ:460±25μm
表面のオリエンテーション:R面、0±0.1°
平らなオリエンテーション:C on R,CCW45±1°
厚さ:500±15 μm
表面のオリエンテーション:平面(11-20)
厚さ:430 ± 10のμm
R平面:R9
表面のオリエンテーション:M平面(1010)
厚さ:430 ± 10のμm
平らなオリエンテーション:平面(11-20)