製品名:Sicのエピタキシアル ウエファー
表面のオリエンテーション:Off-Axis:4°toward <11-20>±0.5の°
第一次平らな長さ:47.5mmの± 1.5mm
結晶形:4h
製品名:2inch diameterSiliconの炭化物(SiC)の基質の指定
直径:50.8mm±0.38mm
製品名:6インチ(直径)の炭化ケイ素(SiC)の基質の指定
第一次平らなオリエンテーション:{10-10} ±5.0°
結晶形:4h
結晶形:4h
製品名:Sicのエピタキシアル ウエファー
直径:150.0mm +0mm/-0.2mm
製品名:Sicのエピタキシアル ウエファー
第一次平らな長さ:47.5mmの± 1.5mm
直径:150.0mm +0mm/-0.2mm
結晶形:4h
製品名:Sicのエピタキシアル ウエファー
直径:150.0mm +0mm/-0.2mm
直径:150.0mm +0mm/-0.2mm
製品名:Sicのエピタキシアル ウエファー
表面のオリエンテーション:Off-Axis:4°toward <11-20>±0.5の°
結晶形:4h
製品名:Sicのエピタキシアル ウエファー
直径:150.0mm +0mm/-0.2mm
製品名:Sicのエピタキシアル ウエファー
結晶形:4h
Polytype:どれも割り当てなかった
結晶形:4h
製品名:Sicのエピタキシアル ウエファー
直径:150.0mm +0mm/-0.2mm
製品名:Sicのエピタキシアル ウエファー
結晶形:4h
直径:150.0 mm +0mm/-0.2mm
結晶形:4h
表面金属汚染:(Al、Cr、Fe、Ni、Cu、Zn、Pb、Na、K、Ti、Ca、V、Mn) ≤1E11cm⁻²
製品名:Sicのエピタキシアル ウエファー